Arbeitsgruppe Prof. Dr. Uwe Hartmann

Nanostrukturforschung und Nanotechnologie

Kontaktadresse:

Institut für Experimentalphysik
Universität des Saarlandes
Geb. C6.3 - 4. OG
Postfach 151150
D-66041 Saarbrücken
Tel.: (0681) 302-3799 od. 2972

Universität des Saarlandes

Fax: (0681) 302-3790
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Sputteranlagen

 

Edwards S150B

 

 

Seitliche Ansicht

Kammerabdeckung

Geöffnete Kammerabdeckung

Blendenvorrichtung

Sputterprozeß

Vakuumanzeige

Gaszuleitung

 

Roth & Rau MicroSys 350

 

 

Gesamtansicht

Geöffnete Abdeckung

Quarzsensor

Quarzsensor

Anzeige des Quarzsensors

Magnetron

Verschiedene Sputtertargets

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28.02.2006