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الدراسة |
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Nanostructural Physics |
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Einleitung |
allgemeine Bedeutung der Nanotechnologie,
Anwendungsbereiche |
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Begriffsbestimmung |
relevante physikalische und chemische Einheiten, typische
Größenordnungen, Bedeutung des Begriffs, Unterdisziplinen |
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Miniaturisierung |
Ziele, Miniaturisierung in der Elektronik,
Chipentwicklung, Aufbau eines Mirkosystems, Anwendungsbereiche der
Mikrosystemtechnik |
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Schichtdepositionsverfah- ren |
Anwendungsbereiche für Schichten, Schichtsysteme,
Grundlagen der Vakuumphysik, Gasphasenabscheidung, Schichtwachstumsmodi,
Epitaxie, PVD, Aufbau von Depositionssystemen,
Elektronenstrahlverdampfer, MBE-Systeme, Laser-Ablation/PLD, Sputtern,
CVD-Verfahren, MOCVD, sonstige Verfahren |
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Strukturierungsverfahren |
Kategorien von Lithographieverfahren, optische
Lithographie, Lichtquellen, Lithographie mit geladenen Partikeln,
Resistbelichtung, Ätzverfahren, chemisch-mechanisches Polieren |
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Quantenmechanische Grundlagen |
Skalierungsgrenzen, Schrödinger-Gleichung und
axiomatische Grundlagen, Potentialstreuung und Tunneleffekt,
Einzelelektronentunneln, harmonisches Potential und Molekülschwingungen,
Coulomb-Wechselwirkung, Spin, Bandstruktur von Festkörpern, dissipativer
elektronischer Transport, Grenzflächen und Heterostrukturen ,
niedrigdimensionale Elektronengase, ballistischer Transport |
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