专利 |
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H. Lemke, Th. Göddenhenrich, H. P. Bochem,
U. Hartmann |
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Verfahren und
Einrichtung zum Herstellen von Mikro-Schmelzstrukturen aus elektrisch
leitenden Material auf Sondenspitzen sowie deren Verwendung |
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DE 40 07 292 C 1, June 1991 |
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US 5,178,742, January 1993 |
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EU 0 446 742 B 1, August 1995 |
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H. Lemke, Th. Göddenhenrich, H. P. Bochem,
U. Hartmann |
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Verfahren und
Einrichtung zur Herstellung von elektrisch leitenden Sondenspitzen |
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DE 40 07 291 C 2, January 1992 |
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US 5,145,564,
September 1992 |
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EU 0 445 679 B 1, February 1995 |
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Th. Göddenhenrich,
U. Hartmann |
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Rasterkraftmikroskop mit einer kapazitiven Meßeinrichtung zur
Registrierung der Relativbewegung zwischen Tastspitze und Oberfläche |
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DE 39 22 589 C 2, December 1994 |
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U. Hartmann |
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Meßfühler einer
Sonde zur Messung der Topographie einer Probenoberfläche |
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DE 195 20 457 C 2, July 1997 |
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