Arbeitsgruppe Prof. Dr. Uwe Hartmann

Nanostrukturforschung und Nanotechnologie

Kontaktadresse:

Institut für Experimentalphysik
Universität des Saarlandes
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D-66041 Saarbrücken
Tel.: (0681) 302-3799 od. 2972

Universität des Saarlandes

Fax: (0681) 302-3790
Forschung

Grundlagen

Vakuum

Einleitung

aus dem lat. vacuus = leer, frei

Als Vakuum wird im allgemeinen ein materiefreier Raum bezeichnet. Zur Herstellung eines Vakuums wird ein abgeschlossener Hohlraum mittels spezieller Vakuumpumpen oder spezieller Kühlfallen von dem in ihm enthaltenen Gas befreit. Die unterschiedlichen Qualitätsstufen eines Vakuums richten sich nach der Menge der verbleibenden Materie, gemessen durch den Restdruck (in Pa oder mbar). Ein vollständig materiefreier Raum ist dabei nicht erreichbar. Die in der Arbeitsgruppe verwendeten Vakuummessplätze arbeiten standardmäßig im Ultrahochvakuum, normalerweise im Bereich von 10-10 mbar.

 

Tabellarische Übersicht

Vakuumbereich

Druck in hPa

Moleküle/cm3

mittlere freie Weglänge

Grobvakuum

300 ... 1

1019 ... 1016

0.1 ... 100 µm

Feinvakuum

1 ... 10-3

1016 ... 1013

0.1 ... 100 mm

Hochvakuum

10-3 ... 10-7

1013 ... 109

10 cm ... 1 km

Ultrahochvakuum

10-7 ... 10-12

109 ... 104

1 km ... 105 km

 

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28.02.2006