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Das Variable Temperature -
UHV -
AFM/STM gestattet die Untersuchung von Proben in einem Temperaturbereich von 50 K - 1100 K, wobei die Kühlung der Proben durch flüssiges Helium erfolgt. Das Gerät ist so entworfen, dass sowohl
AFM- als auch
STM-Messungen mit dem Mikroskop durchgeführt werden können. Hierfür gestattet das Mikroskop den Spitzenwechsel im Vakuum, wobei normale Cantilever oder sogenannte Needle-Sensoren eingesetzt werden können. Das
Vakuum der
Hauptkammer liegt im Bereich von ungefähr 10-10
mbar, der maximale Messbereich beträgt 15 x 15 µm2.
Die erreichbaren Auflösungen sind lateral von der Größenordnung von einigen Nanometern, während die Auflösung in z-Richtung ungefähr 10 pm beträgt. Zur Präparation der
Proben steht eine Vorkammer mit verschiedenen
Präparationsmöglichkeiten (Verdampfer, Ionen-Kanone) zur Verfügung. |
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