Arbeitsgruppe Prof. Dr. Uwe Hartmann

Nanostrukturforschung und Nanotechnologie

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Strukturierung und Charakterisierung elektronischer Quantenbauelemente

Abstract

Elektronische Quantenbauelemente sind von großer Bedeutung für zukünftige Anwendungen in der Informationstechnologie, aber auch in der allgemeinen Konsumelektronik. Sie erlauben nicht nur eine dramatisch erhöhte Integrationsdichte aufgrund ihrer verminderten geometrischen Dimensionen, sondern auch gänzlich neue Schaltungskonzepte und damit letztendlich funktionale Eigenschaften. Neben den spezifischen Materialparametern sind von wesentlicher Bedeutung für die Funktionalität eines quantenelektronischen Bauelementes diejenigen Eigenschaften, die durch die reduzierten Abmessungen des Bauelementes initiiert werden. Gegenstand des vorliegenden Projektes ist es, einfache funktionale Bauelemente oder Bauelementkomponenten unter Verwendung von Rastersondenverfahren herzustellen und in Bezug auf ihre quantenelektronische Funktionalität zu charakterisieren. Dabei steht nicht im Mittelpunkt die Evaluation der Sinnhaftigkeit des jeweiligen Herstellungskonzeptes für eine potentielle Massenproduktion der entsprechenden Bauelemente, sondern vielmehr die Entwicklung möglichst einfacher und kostengünstiger Verfahren zum Herstellen von Prototyp-Bauelementen, deren Funktionalität unter dem Gesichtspunkt eines möglichen Einsatzes in der industriellen Fertigung zu bewerten ist. Dabei ist zunächst irrelevant, ob es sich um ein Bottom-up- oder Top-down-Verfahren oder um eine Kombination aus beiden Ansätzen handelt. Von zentralem Interesse für das vorliegende Projekt ist in jedem Fall die Eignung der zugrunde liegenden physikalischen Wirkmechanismen und der grundlegenden herstellungstechnischen Gesichtspunkte für eine potentielle Weiterentwicklung hin zu einer industriellen Applikation.

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28.02.2006