Rastersondenmikroskopie

Rastersondenmikroskopie (engl. scanning probe microscopy (SPM)) ist der Überbegriff für alle Arten der Mikroskopie, bei der das Bild nicht mit einer einzelnen Aufnahme erzeugt wird, sondern bei der stattdessen die zu untersuchende Probe mittels einer Sonde in einem Rasterprozess Punkt für Punkt abgetastet wird. Der Begriff Sonde ist hierbei nicht wörtlich als ein materielles Gebilde zu verstehen. Es kann sich dabei z.B. auch um den Fokus eines Laser- oder Elektronenstrahles handeln. Die sich für jeden einzelnen Punkt ergebenden Messwerte werden dann zu einen einzigen (digitalen) Bild zusammengesetzt. Die heute am besten etablierten Methoden der Rastersondenmikroskopie sind:

• Rasterelektronenmikroskop (REM), engl. scanning electron microscope (SEM)

• Rastertunnelmikroskop (RTM), engl. scanning tunneling microscope (STM)

• Rasterkraftmikroskop (RKM), engl. atomic (scanning) force microscope (AFM)

• Optisches Rasternahfeldmikroskop, engl. scanning nearfield optical microscope (SNOM)

• Konfokalmikroskop, engl. confocal laser scanning  microscope (CLSM)