Edwards S150B Sputter-Coater

Der Edwards S150B Sputter-Coater ist eine kostengünstige, leicht zu bedienende Sputteranlage, die vor allem zur schnellen Herstellung dünner metallischer Filme Verwendung findet. Die Prozesskammer kann innerhalb weniger Minuten auf einen Enddruck von ungefähr 10^-3 mbar gepumpt werden. Die Größe der besputterbaren Fläche beträgt maximal ungefähr 50 x 50 mm², allerdings ist aufgrund einer inhomogenen Verteilung des gesputterten Materials eine Probenfläche von höchstens 5 x 5 mm² empfehlenswert. Der S150B verfügt über Hochspannungen im Bereich von 0 bis 2.0 kV und kann Ströme bis zu 50 mA erzeugen. In der Arbeitsgruppe findet die Sputteranlage hauptsächlich Anwendung zur Herstellung von Gold-Beschichtungen der Proben für die Elektronenmikroskopie (biologische Zellen, nichtleitende Proben).