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Das Raumtemperatur -
UHV -
AFM/STM gestattet die Untersuchung von Proben in einem Temperaturbereich von 300 K - ? K, ?Heizung durch?. Das Gerät ist so entworfen, dass sowohl
AFM- als auch
STM-Messungen mit dem Mikroskop durchgeführt werden können. Die Messsonden sind dabei so konstruiert, dass beide Messverfahren mit dem selben Cantilever durchgeführt werden können. Das
Vakuum der
Hauptkammer liegt im Bereich von 10-10
mbar, der maximale Messbereich beträgt 5 x 5 µm2.
Die erreichbaren Auflösungen sind lateral von der Größenordnung von einigen Nanometern, während die Auflösung in z-Richtung ungefähr ?? pm beträgt. Zur Präparation der
Proben steht eine Vorkammer mit verschiedenen
Präparationsmöglichkeiten (Verdampfer, Ionen-Kanone) zur Verfügung, außerdem kann die Oberflächenbeschaffenheit mit Hilfe eines Auger-/LEED-Systems charakterisiert werden. |
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