摘要

Auch wenn heutige Computernutz er die Leistungsfähigkeit und Geschwindigkeit ihrer Rechner als selbstverständlich ansehen, konnten diese nur durch eine konsequente Miniaturisierung kontinuierlich gesteigert werden. Die enormen technischen Anforderungen an den Herstellungsprozess wuchsen dabei in gleichem Maße wie die Bauelemente kleiner wurden. Daneben mussten Prototypen der heutigen Bauelemente bereits einige Jahre zuvor in Forschungseinrichtungen eingehend überprüft werden, um die Alltagstauglichkeit sicher zu stellen.
Im Zuge dieser Entwicklung traten Probleme auf, die bis dahin kaum oder gar nicht ins Gewicht fielen. Als schwerwiegendstes er wies sich dabei ein eigentlich alltägliches Phänomen: der Staub und andere Verunreinigungen in der Umgebungsluft verursachten einen enormen Produktionsausschuss, da bereits ein einzelnes Staubkorn eine komplette Struktur zerstören kann. Die einzige Lösung dieses Problem bestand in der Verlagerung sowohl der Produktion als auch der Forschung in eine partikelfreie Umgebung. Eine solche wird durch reine Räume bereitgestellt. Auch in der Arbeitsgruppe von Professor Uwe Hartmann in der Experimentalphysik in Saarbrücken steht seit kurzem ein solcher Raum zur Verfügung.