Raumtemperatur - UHV - AFM/STM/REM

Die Raumtemperatur-UHV-AFM/STM/REM-Anlage gestattet die Untersuchung von Proben in einem Temperaturbereich von 300 K - ? K, ?Heizung durch?.  Die Besonderheit dieser Anlage liegt in der Kombination von Rastersondenverfahren mit einem Rasterelektronenmikroskop. Der gesamte Messplatz ist so konstruiert, dass die Beobachtung der Messsonde während des Annäherns an die Probe und während des eigentlichen Messvorgangs durch das REM erfolgen kann. Diese Anordnung gestattet eine präzise Positionierung der Messsonde auf einem ausgewählten Bereich der Probenoberfläche. Die eigentlichen Untersuchungen werden dann entweder mit AFM oder STM in einer UHV-Kammer mit einem Vakuum im Bereich von ungefähr 10^-10 mbar durchgeführt, der maximale Messbereich beträgt ?5 x 5? µm². Die erreichbaren Auflösungen sind lateral von der Größenordnung von einigen Nanometern, während die Auflösung in z-Richtung ungefähr ?? pm beträgt.

Zur Präparation der Proben steht eine Vorkammer mit verschiedenen Präparationsmöglichkeiten (Verdampfer, Ionen-Kanone) zur Verfügung, außerdem kann die Oberflächenbeschaffenheit mit Hilfe eines Auger-/LEED-Systems charakterisiert werden.